多功能洁净清洗台，FFU净化台，定制化洗片台

FFU净化台

模块化风机过滤单元（Fan Filter Unit）系统，搭载H14级HEPA高效过滤器，单机净化效率达99.995%@0.3μm。采用直流无刷电机驱动，噪音值≤55dB，支持多台联机构建洁净室环境。智能压差监测系统可实时显示滤网寿命，适用于半导体制造、PCR实验室等对空气洁净度要求严格的场景。

可搭配：单片晶圆甩干机，单片晶圆清洗台，单片晶圆刻蚀机等。