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单晶炉,晶体生长炉,砷化镓VGF单晶炉,全自动VGF升降长晶炉,VGF碲锌镉长晶炉

单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备,其主要功能是在惰性气体(如氮气、氦气或氩气)环境中,通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并利用直拉法生长无错位单晶。这种设备广泛应用于半导体制造和光伏发电等领域。

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一、设备概况

1.1产品应用:主要用于26英寸锗单晶、砷化镓,碲锌镉等化合物晶体的生长

1.2产品特点:
1.2.1工业计算机控制系统(WINDOWS 系统界面,操作方便简洁)
1.2.2关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
1.2.3控温精度高,温区控温稳定性好
1.2.4具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
1.2.5晶体生长均匀性好、重复性高

二、主要技术参数

工作温度

6001280℃

适应晶体尺寸

26英寸

装料量

15Kg/

加热控制

7段控制

温区长度

800mm±0.5℃10001280℃) (可定制)

升温速率

15℃/min

升降行程

900mm

最小升降速率(VB

0.1mm/h

配套设备

合成炉、铸锭炉、脱氧封管炉等


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