一、设备概况
1.1产品应用:主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓,碲锌镉等化合物晶体的生长。
1.2产品特点:
1.2.1工业计算机控制系统(WINDOWS 系统界面,操作方便简洁);
1.2.2关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性;
1.2.3控温精度高,温区控温稳定性好;
1.2.4具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能;
1.2.5晶体生长均匀性好、重复性高。
二、主要技术参数
工作温度 | 600~1280℃ |
适应晶体尺寸 | 2~6英寸 |
装料量 | 15Kg/炉 |
加热控制 | 7段控制 |
温区长度 | 800mm±0.5℃(1000~1280℃) (可定制) |
升温速率 | 15℃/min |
升降行程 | 900mm |
最小升降速率(VB) | 0.1mm/h |
配套设备 | 合成炉、铸锭炉、脱氧封管炉等 |