8寸晶圆甩干机，12寸晶圆甩干机，晶圆甩干机，硅片甩干机

一、设备概况

1.1应用领域：晶圆甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。

1.2名称：双腔室甩干机

1.3型号：CSM880S

1.4尺寸：710mm*520mm*1850mm  

1.5晶圆规格：2-8 英寸

1.6材质：不锈钢机架+10mm PP板外壳

1.7设备机架：SUS304不锈钢材料，能够满足洁净室工作环境。

1.8腔体和载体采用耐腐蚀SUS316L不锈钢并电化学抛光。片架载体可方便更换。

1.9电机及转子经精密的动平衡处理，减少设备共振。

二、工艺流程

去离子水旋转冲洗＋离心甩干氮气烘干

建议工艺参数：

三、主要技术参数